1.真空:用真空泵抽掉容器中的氣體,使空間內(nèi)低于一個(gè)大氣壓的氣體狀態(tài)，也就是該空間的氣體分子密度低于該地區(qū)大氣壓的氣體分子密度。

2.真空中殘存氣體的稀薄程度,就是真空程度的高低,即真空度。通常用壓力表示單位（Pa）

3.1Pa就是1m2面積上作用1N的壓力。1大氣壓=1.03×105Pa 

4.壓升率：?jiǎn)挝粫r(shí)間內(nèi)，真空度降低的速率。單位：Pa/h 

5.真空泵的抽氣簡(jiǎn)稱抽速）（單位：L/S） :當(dāng)泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作時(shí)，從試驗(yàn)罩流過(guò)的氣體流量與在試驗(yàn)罩上指定位置測(cè)得的平衡壓力之比。

6.極限真空度：（單位：Pa):在規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向平穩(wěn)的最低壓強(qiáng)